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鄭科探KT-Z160T-RL真空探針臺：精準溫控與多軸調節的科研利器

更新時間：2026-06-05點擊次數：76

在半導體器件、材料科學及微電子封裝測試領域，一臺穩定、精準且易于操作的真空探針臺是實驗室中的核心設備。今天，為大家介紹KT-Z160T-RL真空探針臺，看看它是如何助力科研人員高效完成高精度電學測試的。



一、產品概覽


KT-Z160T-RL 專為真空環境下的高低溫電學檢測設計，可廣泛應用于微電子、半導體、MEMS、光電材料等領域的器件表征與可靠性測試。


二、核心功能亮點

1. 高精度三軸探針移動系統


探針臂支持 X/Y/Z 三軸獨立微調，所有移動均在真空環境下完成，調節順滑、響應靈敏：
X 軸行程：0～30mm（±15mm），精度 ≤0.01mm
Y 軸行程：0～13mm（±12.5mm），精度 ≤0.01mm
Z 軸行程：0～13mm（±12.5mm），精度 ≤0.01mm
用戶可根據被測器件（DUT）的焊盤位置，自由調節探針落點，配合顯微鏡觀察，輕松實現微米級對準。


2. 寬溫區加熱臺與高低溫控制


加熱臺材質：304不銹鋼，尺寸 φ50mm
溫度范圍：-194℃ ～ 400℃（液氮制冷 + 加熱）
控溫誤差：±0.5℃
加熱臺與觀察窗間距：75mm，便于物鏡工作
搭配2026款高低溫溫控器，實現雙向溫度控制：
支持升溫和降溫速率調節，每分鐘 ≤20℃
內置加熱電壓/電流反饋 + 制冷泵參數反饋
溫控器體積縮小 20%，最大輸出功率 500W
優化算法與輸出模塊，控溫更平穩


3. 真空與氣氛環境


腔體材質：304不銹鋼，內腔尺寸 φ160×90mm
上蓋開啟方式：鉸鏈側開，方便取放樣品
真空度：
機械泵 ≤10Pa
分子泵 ≤10?3Pa
允許正壓：≤0.05MPa
抽氣口：KF25 真空法蘭
進氣口：3mm～6mm 卡套接頭，支持惰性氣體或反應氣體引入


4. 電學性能與探針配置


電信號接口： BNC × 4
絕緣電阻：≥4000MΩ
介質耐壓：≤500V
漏電流：飛安級別，可以測試更精密的器件
探針數量：4 根（可根據需求增加第 5探針臂或光纖引入）
探針材質：鍍金鎢針，針尖直徑 10μm，兼顧導電性與耐磨性
可增加光纖引入，滿足光電聯合測試需求
可增加第 5 探針臂，支持多端器件（如四端法、柵極偏置等）測試


四、典型應用場景


| 半導體器件 | MOS管、二極管、IGBT、功率芯片 |
| 材料電學 | 納米材料、二維材料、薄膜電阻 |
| 光電探測 | 光電器件、太陽能電池 |
| 低溫物理 | 超導材料、量子器件 |
| MEMS | 微執行器、傳感器 |
2026款高低溫溫控器的升級，使升降溫過程更加可控、穩定，雙向速率調節能力顯著提升了溫度循環測試的效率與重復性。同時，支持光纖與額外探針臂的擴展，讓這臺探針臺能夠靈活應對未來更加復雜的測試需求。